基于振镜扫描方式的光学元件表面损伤检测下载： 552次 | 光学学报 -- 中国光学期刊网

光学学报, 2017, 37 (6): 0612003, 网络出版: 2017-06-08

基于振镜扫描方式的光学元件表面损伤检测下载： 552次

Damage Inspection of Optical Surface Based on Galvanometer Scanning

郭亚晶 ^*唐顺兴姜秀青朱宝强林尊琪

作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800

测量损伤检测振镜扫描激光诱导损伤 measurement damage inspection galvanometer scanning laser-induced damage

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