光学 精密工程, 2017, 25 (6): 1449, 网络出版: 2017-07-10   

基于并行共聚焦显微系统的物方差动轴向测量

Object-side based differential axial measurement based on parallel confocal microscopy
作者单位
1 华侨大学 机电及自动化学院, 福建 厦门 361021
2 闽江学院 物理学与电子信息工程系, 福建 福州 350108
3 福建工程学院 机械与汽车工程学院, 福建 福州 350118
基本信息
DOI: 10.3788/ope.20172506.1449
中图分类号: TN247
栏目: 现代应用光学
项目基金: 国家科技支撑计划一级子课题资助项目(No.2012BAI23B04)、 福建省中青年教师教育科研项目(No.JAT160394)、 华侨大学高层次引进人才科研启动资金资助项目(No.Z14Y0064)
收稿日期: 2016-07-20
修改稿日期: 2016-09-08
网络出版日期: 2017-07-10
通讯作者: 刘志群 (lzq-323@qq.com)
备注: --

刘志群, 易定容, 孔令华, 张勇贞, 刘婷, 王梓. 基于并行共聚焦显微系统的物方差动轴向测量[J]. 光学 精密工程, 2017, 25(6): 1449. LIU Zhi-qun, YI Ding-rong, KONG Ling-hua, ZHANG Yong-zhen, LIU Ting, WANG Zi. Object-side based differential axial measurement based on parallel confocal microscopy[J]. Optics and Precision Engineering, 2017, 25(6): 1449.

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