基于并行共聚焦显微系统的物方差动轴向测量

刘志群; 易定容; 孔令华; 张勇贞; 刘婷; 王梓

doi:doi:10.3788/ope.20172506.1449

光学精密工程, 2017, 25 (6): 1449, 网络出版: 2017-07-10

基于并行共聚焦显微系统的物方差动轴向测量

Object-side based differential axial measurement based on parallel confocal microscopy

刘志群 ^1,2,*易定容 ¹孔令华 ³张勇贞 ¹刘婷 ¹王梓 ¹

作者单位

¹ 华侨大学机电及自动化学院, 福建厦门 361021

² 闽江学院物理学与电子信息工程系, 福建福州 350108

³ 福建工程学院机械与汽车工程学院, 福建福州 350118

补充材料

刘志群, 易定容, 孔令华, 张勇贞, 刘婷, 王梓. 基于并行共聚焦显微系统的物方差动轴向测量[J]. 光学精密工程, 2017, 25(6): 1449. LIU Zhi-qun, YI Ding-rong, KONG Ling-hua, ZHANG Yong-zhen, LIU Ting, WANG Zi. Object-side based differential axial measurement based on parallel confocal microscopy[J]. Optics and Precision Engineering, 2017, 25(6): 1449.