光学 精密工程, 2017, 25 (6): 1449, 网络出版: 2017-07-10
基于并行共聚焦显微系统的物方差动轴向测量
Object-side based differential axial measurement based on parallel confocal microscopy
三维形貌测量 物方差动共焦 并行轴向测量 非接触式 数字微镜器件 3D topography measurement object-side based differential confocal method parallel axial measurement non-contact Digital Micro-mirror Device(DMD)
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