发光学报, 2015, 36 (9): 1094, 网络出版: 2015-10-22
极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析
Analysis for Groove Density and Spectral Resolution of Varied-line-space Gratings in EUV Spectrum
基本信息
DOI: | 10.3788/fgxb20153609.1094 |
中图分类号: | O436.1 |
栏目: | 发光学应用及交叉前沿 |
项目基金: | 国家重大科学仪器设备开发专项资金(2011YQ120023)资助项目 |
收稿日期: | 2015-05-25 |
修改稿日期: | 2015-06-24 |
网络出版日期: | 2015-10-22 |
通讯作者: | 李文昊 (leewenho@163.com) |
备注: | -- |
李文昊, 姜岩秀, 吴娜, 张桐, 王鹍. 极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析[J]. 发光学报, 2015, 36(9): 1094. LI Wen-hao, JIANG Yan-xiu, WU Na, ZHANG Tong, WANG Kun. Analysis for Groove Density and Spectral Resolution of Varied-line-space Gratings in EUV Spectrum[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2015, 36(9): 1094.