发光学报, 2015, 36 (9): 1094, 网络出版: 2015-10-22   

极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析

Analysis for Groove Density and Spectral Resolution of Varied-line-space Gratings in EUV Spectrum
作者单位
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033
基本信息
DOI: 10.3788/fgxb20153609.1094
中图分类号: O436.1
栏目: 发光学应用及交叉前沿
项目基金: 国家重大科学仪器设备开发专项资金(2011YQ120023)资助项目
收稿日期: 2015-05-25
修改稿日期: 2015-06-24
网络出版日期: 2015-10-22
通讯作者: 李文昊 (leewenho@163.com)
备注: --

李文昊, 姜岩秀, 吴娜, 张桐, 王鹍. 极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析[J]. 发光学报, 2015, 36(9): 1094. LI Wen-hao, JIANG Yan-xiu, WU Na, ZHANG Tong, WANG Kun. Analysis for Groove Density and Spectral Resolution of Varied-line-space Gratings in EUV Spectrum[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2015, 36(9): 1094.

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