应用光学, 2019, 40 (5): 779, 网络出版: 2019-11-05
光学元件缺陷在线检测光学系统设计
Optical system design for on-line defects detection of optical components
基本信息
| DOI: | 10.5768/jao201940.0501010 |
| 中图分类号: | TN202;TH703 |
| 栏目: | 光电系统与工程 |
| 项目基金: | 脉冲功率激光技术国家重点实验室开放基金资助项目(SKL2018KF05) |
| 收稿日期: | 2019-05-13 |
| 修改稿日期: | 2019-06-10 |
| 网络出版日期: | 2019-11-05 |
| 通讯作者: | 张文学 (19950219695@163.com) |
| 备注: | -- |
张文学, 王继红, 任戈. 光学元件缺陷在线检测光学系统设计[J]. 应用光学, 2019, 40(5): 779. ZHANG Wenxue, WANG Jihong, REN Ge. Optical system design for on-line defects detection of optical components[J]. Journal of Applied Optics, 2019, 40(5): 779.
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