光学元件缺陷在线检测光学系统设计 | 应用光学 -- 中国光学期刊网

应用光学, 2019, 40 (5): 779, 网络出版: 2019-11-05

光学元件缺陷在线检测光学系统设计

Optical system design for on-line defects detection of optical components

张文学 ^1,2,3,*王继红 ^1,2,3任戈 ^1,2,3

作者单位

¹ 中国科学院光束控制重点实验室, 四川成都 610209

² 中国科学院光电技术研究所, 四川成都 610209

³ 中国科学院大学, 北京 100049

光学元件在线检测变焦距光学系统环境适应性分析 optical element online detection zoom optical system environmental adaptability analysis

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