应用光学, 2019, 40 (5): 779, 网络出版: 2019-11-05   

光学元件缺陷在线检测光学系统设计

Optical system design for on-line defects detection of optical components
张文学 1,2,3,*王继红 1,2,3任戈 1,2,3
作者单位
1 中国科学院 光束控制重点实验室, 四川 成都 610209
2 中国科学院 光电技术研究所, 四川 成都 610209
3 中国科学院大学, 北京 100049
引用该论文

张文学, 王继红, 任戈. 光学元件缺陷在线检测光学系统设计[J]. 应用光学, 2019, 40(5): 779.

ZHANG Wenxue, WANG Jihong, REN Ge. Optical system design for on-line defects detection of optical components[J]. Journal of Applied Optics, 2019, 40(5): 779.

参考文献

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