248 nm准分子激光刻蚀的无裂损石英玻璃表面微通道

杨桂栓; 陈涛; 陈虹

doi:doi:10.3788/CJL201744.0902004

中国激光, 2017, 44 (9): 0902004, 网络出版: 2017-09-07

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Crack-Free Silica Glass Surface Micro-Grooves Etched by 248 nm Excimer Lasers

杨桂栓 ^*陈涛陈虹

作者单位

北京工业大学激光工程研究院, 北京 100124

引用该论文

杨桂栓, 陈涛, 陈虹. 248 nm准分子激光刻蚀的无裂损石英玻璃表面微通道[J]. 中国激光, 2017, 44(9): 0902004.

Yang Guishuan, Chen Tao, Chen Hong. Crack-Free Silica Glass Surface Micro-Grooves Etched by 248 nm Excimer Lasers[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(9): 0902004.

引用列表

1、玻璃材料激光加工技术的研究进展激光技术, 2021, 45 (4): 417

2、激光诱导钡化合物化学反应刻蚀石英玻璃的机理激光与光电子学进展, 2018, 55 (2): 021402

3、 355 nm全固态紫外激光直写刻蚀硼硅玻璃微通道中国激光, 2018, 45 (8): 802003

4、车削掩模的石英非球面微透镜阵列制作方法光电工程, 2018, 45 (4): 170671

5、紫外激光器及其在微加工中的应用光电工程, 2017, 44 (12): 1169

杨桂栓, 陈涛, 陈虹. 248 nm准分子激光刻蚀的无裂损石英玻璃表面微通道[J]. 中国激光, 2017, 44(9): 0902004. Yang Guishuan, Chen Tao, Chen Hong. Crack-Free Silica Glass Surface Micro-Grooves Etched by 248 nm Excimer Lasers[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(9): 0902004.

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