中国激光, 2017, 44 (9): 0902004, 网络出版: 2017-09-07
248 nm准分子激光刻蚀的无裂损石英玻璃表面微通道 下载: 937次
Crack-Free Silica Glass Surface Micro-Grooves Etched by 248 nm Excimer Lasers
激光技术 石英玻璃刻蚀 准分子激光微加工 无裂损加工 laser technique silica glass etching excimer laser micromachining crack-free processing
知识挖掘
相关论文
2024年
2024年
2024年
2024年
2024年
2018年
2018年
2008年
本文相似领域研究进展,
知识服务
本文主要研究领域论文发表情况:
4989篇
4278篇
7篇
2篇
1篇
本文研究领域论文发表情况(统计图):
杨桂栓, 陈涛, 陈虹. 248 nm准分子激光刻蚀的无裂损石英玻璃表面微通道[J]. 中国激光, 2017, 44(9): 0902004. Yang Guishuan, Chen Tao, Chen Hong. Crack-Free Silica Glass Surface Micro-Grooves Etched by 248 nm Excimer Lasers[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(9): 0902004.