光电工程, 2019, 46 (12): 180507, 网络出版: 2020-01-09
光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量
Measurement of polarization correlation coefficients of light source and spectrometer in spectroscopic ellipsometry
基本信息
DOI: | 10.12086/oee.2019.180507 |
中图分类号: | O436.3 |
栏目: | 科研论文 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2018-09-28 |
修改稿日期: | 2019-01-16 |
网络出版日期: | 2020-01-09 |
通讯作者: | 汤媛媛 (yytang001@126.com) |
备注: | -- |
范真涛, 汤媛媛, 魏凯, 陈颖, 张雨东. 光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量[J]. 光电工程, 2019, 46(12): 180507. Fan Zhentao, Tang Yuanyuan, Wei Kai, Chen Ying, Zhang Yudong. Measurement of polarization correlation coefficients of light source and spectrometer in spectroscopic ellipsometry[J]. Opto-Electronic Engineering, 2019, 46(12): 180507.