光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量 | 光电工程 -- 中国光学期刊网

光电工程, 2019, 46 (12): 180507, 网络出版: 2020-01-09

光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量

Measurement of polarization correlation coefficients of light source and spectrometer in spectroscopic ellipsometry

范真涛 ^1,2,3汤媛媛 ^1,2,*魏凯 ^1,2陈颖 ⁴张雨东 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院自适应光学重点实验室，四川成都 610209

² 中国科学院光电技术研究所，四川成都 610209

³ 中国科学院大学，北京 100049

⁴ 中国人民解放军61046部队，北京 100000

测量光源光谱仪光谱椭偏仪偏振相关系数 measurement light source spectrometer spectroscopic ellipsometry polarization correlation coefficients

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