光谱学与光谱分析, 2017, 37 (2): 391, 网络出版: 2017-06-20
射频磁控溅射法制备氮化硅基ZnO薄膜的光致发光性能研究
Photoluminescence of Silicon Nitride-Based ZnO Thin Film Developed with RF Magnetron Sputtering
基本信息
DOI: | 10.3964/j.issn.1000-0593(2017)02-0391-03 |
中图分类号: | O433.4 |
栏目: | |
项目基金: | 国家自然科学基金仪器专项(21227010)资助 |
收稿日期: | 2016-01-28 |
修改稿日期: | 2016-05-12 |
网络出版日期: | 2017-06-20 |
通讯作者: | 陈璟涵 (chenjinghan127@163com) |
备注: | -- |
陈璟涵, 姚文清, 朱永法. 射频磁控溅射法制备氮化硅基ZnO薄膜的光致发光性能研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2017, 37(2): 391. CHEN Jing-han, YAO Wen-qing, ZHU Yong-fa. Photoluminescence of Silicon Nitride-Based ZnO Thin Film Developed with RF Magnetron Sputtering[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 37(2): 391.