射频磁控溅射法制备氮化硅基ZnO薄膜的光致发光性能研究 | 光谱学与光谱分析 -- 中国光学期刊网

光谱学与光谱分析, 2017, 37 (2): 391, 网络出版: 2017-06-20

射频磁控溅射法制备氮化硅基ZnO薄膜的光致发光性能研究

Photoluminescence of Silicon Nitride-Based ZnO Thin Film Developed with RF Magnetron Sputtering

陈璟涵 ^*姚文清朱永法

作者单位

清华大学化学系, 北京 100084

射频磁控溅射退火原位光致发光 SiN SiN ZnO ZnO RF magnetron sputtering Annealing In-situ Photoluminescence PL PL

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