钛酸镧薄膜的制备及工艺优化

杭良毅; 徐均琪; 程耀进; 苏俊宏

doi:doi:10.5768/jao201536.0604003

应用光学, 2015, 36 (6): 948, 网络出版: 2015-12-18

钛酸镧薄膜的制备及工艺优化

Preparation of LaTiO₃ films and process optimization

杭良毅 ^1,*徐均琪 ¹程耀进 ²苏俊宏 ¹

作者单位

¹ 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 陕西西安 710032

² 微光夜视技术重点实验室, 陕西西安710065

图 & 表

杭良毅, 徐均琪, 程耀进, 苏俊宏. 钛酸镧薄膜的制备及工艺优化[J]. 应用光学, 2015, 36(6): 948. Hang Liangyi, Xu Junqi, Cheng Yaojin, Su Junhong. Preparation of LaTiO₃ films and process optimization[J]. Journal of Applied Optics, 2015, 36(6): 948.