激光与光电子学进展, 2018, 55 (9): 093101, 网络出版: 2018-09-08
基底温度和离子源能量对薄膜应力的影响 下载: 986次
Effects of Substrate Temperature and Ion Source Energy on Stress of Thin Film
薄膜 基底温度 离子源能量 折射率 平均应力 thin films substrate temperature ion source energy refractive index average stress
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