中国激光, 2013, 40 (11): 1107002, 网络出版: 2013-10-24
辉光放电辅助脉冲激光沉积CNx薄膜的价键结构及机械性能
Valence Bond Structure and Mechanical Properties of CNx Films Prepared by Glow Discharge Assisted Pulsed Laser Deposition
基本信息
| DOI: | 10.3788/cjl201340.1107002 |
| 中图分类号: | O484 |
| 栏目: | 材料与薄膜 |
| 项目基金: | 浙江省自然科学基金项目(Y4110645) |
| 收稿日期: | 2013-06-09 |
| 修改稿日期: | 2013-07-11 |
| 网络出版日期: | 2013-10-24 |
| 通讯作者: | 郑晓华 (zhengxh@zjut.edu.cn) |
| 备注: | -- |
郑晓华, 宋建强, 杨芳儿, 陈占领. 辉光放电辅助脉冲激光沉积CNx薄膜的价键结构及机械性能[J]. 中国激光, 2013, 40(11): 1107002. Zheng Xiaohua, Song Jianqiang, Yang Fanger, Chen Zhanling. Valence Bond Structure and Mechanical Properties of CNx Films Prepared by Glow Discharge Assisted Pulsed Laser Deposition[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(11): 1107002.
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