辉光放电辅助脉冲激光沉积CNx薄膜的价键结构及机械性能 | 中国激光 -- 中国光学期刊网

中国激光, 2013, 40 (11): 1107002, 网络出版: 2013-10-24

辉光放电辅助脉冲激光沉积CN_x薄膜的价键结构及机械性能

Valence Bond Structure and Mechanical Properties of CN_x Films Prepared by Glow Discharge Assisted Pulsed Laser Deposition

郑晓华 ^*宋建强杨芳儿陈占领

作者单位

浙江工业大学机械工程学院, 浙江杭州 310014

薄膜氮化碳脉冲激光沉积 X射线光电子谱摩擦与磨损 thin films CNx pulsed laser deposition X-ray photoelectron spectroscopy friction and wear

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