中国激光, 2018, 45 (8): 0802003, 网络出版: 2018-08-11   

355 nm全固态紫外激光直写刻蚀硼硅玻璃微通道 下载: 982次

355 nm All-Solid-State Ultraviolet Laser Direct Writing and Etching of Micro-Channels in Borosilicate Glass
作者单位
1 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 山西 太原 030051
2 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室, 山西 太原 030051
引用该论文

李奇思, 梁庭, 雷程, 李旺旺, 林立娜, 杨娇燕, 熊继军. 355 nm全固态紫外激光直写刻蚀硼硅玻璃微通道[J]. 中国激光, 2018, 45(8): 0802003.

Li Qisi, Liang Ting, Lei Cheng, Li Wangwang, Lin Lina, Yang Jiaoyan, Xiong Jijun. 355 nm All-Solid-State Ultraviolet Laser Direct Writing and Etching of Micro-Channels in Borosilicate Glass[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(8): 0802003.

引用列表
1、 355 nm全固态紫外纳秒激光加工蓝宝石通孔研究中国激光, 2023, 50 (4): 0402022
2、 半导体激光加工中光学元件吸热对设备聚焦位置的影响激光与光电子学进展, 2022, 59 (1): 0114013
3、 微孔气流加压对ITO玻璃激光刻蚀平面度的影响光学 精密工程, 2022, 30 (13): 1564
4、 玻璃材料激光加工技术的研究进展激光技术, 2021, 45 (4): 417
6、 278 nm全固态激光系统倍频分离膜的研制中国激光, 2019, 46 (12): 1203002

李奇思, 梁庭, 雷程, 李旺旺, 林立娜, 杨娇燕, 熊继军. 355 nm全固态紫外激光直写刻蚀硼硅玻璃微通道[J]. 中国激光, 2018, 45(8): 0802003. Li Qisi, Liang Ting, Lei Cheng, Li Wangwang, Lin Lina, Yang Jiaoyan, Xiong Jijun. 355 nm All-Solid-State Ultraviolet Laser Direct Writing and Etching of Micro-Channels in Borosilicate Glass[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(8): 0802003.

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