应用激光, 2017, 37 (4): 586, 网络出版: 2017-10-12
248 nm准分子激光刻蚀钠钙玻璃微通道低裂损工艺研究
The Study on Low Cracking of Soda-lime Glass Micro-Groove Etched by 248 nm Excimer Laser
基本信息
| DOI: | 10.14128/j.cnki.al.20173704.586 |
| 中图分类号: | TN405 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(项目编号: 2011YQ030112) |
| 收稿日期: | 2016-07-06 |
| 修改稿日期: | 2017-03-28 |
| 网络出版日期: | 2017-10-12 |
| 通讯作者: | 杨桂栓 (yguishuan@126.com) |
| 备注: | -- |
杨桂栓, 陈虹, 陈涛. 248 nm准分子激光刻蚀钠钙玻璃微通道低裂损工艺研究[J]. 应用激光, 2017, 37(4): 586. Yang Guishuan, Chen Hong, Chen Tao. The Study on Low Cracking of Soda-lime Glass Micro-Groove Etched by 248 nm Excimer Laser[J]. APPLIED LASER, 2017, 37(4): 586.
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