应用激光, 2017, 37 (4): 586, 网络出版: 2017-10-12
248 nm准分子激光刻蚀钠钙玻璃微通道低裂损工艺研究
The Study on Low Cracking of Soda-lime Glass Micro-Groove Etched by 248 nm Excimer Laser
准分子激光微加工 玻璃表面刻蚀 玻璃微通道 生物芯片 excimer laser processing glass surface etching glass micro-groove processing bio-chip
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