中国光学, 2012, 5 (4): 401, 网络出版: 2012-08-15
光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析
Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective
基本信息
| DOI: | 10.3788/co.20120504.0401 |
| 中图分类号: | TH703;TH132 |
| 栏目: | 光学仪器 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.40974110) |
| 收稿日期: | 2012-03-21 |
| 修改稿日期: | 2012-05-23 |
| 网络出版日期: | 2012-08-15 |
| 通讯作者: | 孙振 (sunzhen176@163.com) |
| 备注: | -- |
孙振, 巩岩. 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(4): 401. SUN Zhen, GONG Yan. Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4): 401.
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