中国光学, 2012, 5 (4): 401, 网络出版: 2012-08-15
光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析
Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective
可变光阑 投影物镜 结构设计 有限元分析 adjustable diaphragm projection objective structure design finite element analysis
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