光子学报, 2009, 38 (1): 160, 网络出版: 2010-05-10
Mo/Si多层膜表面保护层设计
Design of Capping Layers on Mo/Si Multilayer
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TB43;O434 |
栏目: | 光学材料 |
项目基金: | 国家自然科学基金(10435050,10675092)和国家863高技术研究与发展计划(2006AA12Z139)资助 |
收稿日期: | 2007-07-16 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2010-05-10 |
通讯作者: | 徐达 (jtzhu@mail.tongji.edu.cn) |
备注: | -- |
徐达, 朱京涛, 张众, 王风丽, 王晓强, 王洪昌, 蒋励, 佘仕凤, 王占山, 秦树基, 陈玲燕. Mo/Si多层膜表面保护层设计[J]. 光子学报, 2009, 38(1): 160. XU Da, ZHU Jing-tao, ZHANG Zhong, WANG Feng-li, WANG Xiao-qiang, WANG Hong-chang, JIANG Li, SHE Shi-feng, WANG Zhan-shan, QIN Shu-ji, CHEN Ling-yan. Design of Capping Layers on Mo/Si Multilayer[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2009, 38(1): 160.