半导体光电, 2020, 41 (3): 395, 网络出版: 2020-06-18
深紫外CMOS图像传感器测试匀光系统设计
Design of Homogenizing Optical System for Testing CMOS Image Sensor in Deep Ultraviolet Region
基本信息
DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2020.03.018 |
中图分类号: | TP212 |
栏目: | 光电技术及应用 |
项目基金: | 国家重大科技专项项目(2009ZX02204-010) |
收稿日期: | 2020-02-12 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2020-06-18 |
通讯作者: | 齐月静 (qiyuejing@ime.ac.cn) |
备注: | -- |
李琦, 齐月静, 卢增雄, 张清洋, 马敬, 杨光华, 苏佳妮. 深紫外CMOS图像传感器测试匀光系统设计[J]. 半导体光电, 2020, 41(3): 395. LI Qi, QI Yuejing, LU Zengxiong, ZHANG Qingyang, MA Jing, YANG Guanghua, SU Jiani. Design of Homogenizing Optical System for Testing CMOS Image Sensor in Deep Ultraviolet Region[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2020, 41(3): 395.