光学学报, 2020, 40 (17): 1736001, 网络出版: 2020-08-28   

基于低能离子轰击的亚波长纳米结构制备 下载: 945次

Preparation of Subwavelength Nanostructures Based on Low-Energy Ion Bombardment
作者单位
中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 安徽 合肥 230029
引用该论文

杨高元, 蔡茂琦, 李金昱, 陈火耀, 刘颖, 洪义麟. 基于低能离子轰击的亚波长纳米结构制备[J]. 光学学报, 2020, 40(17): 1736001.

Gaoyuan Yang, Maoqi Cai, Jinyu Li, Huoyao Chen, Ying Liu, Yilin Hong. Preparation of Subwavelength Nanostructures Based on Low-Energy Ion Bombardment[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(17): 1736001.

引用列表
1、 铌酸锂微纳米结构的制备与分析中国激光, 2023, 50 (1): 0113018
2、 基于光学散射仪的T型相变存储器三维形貌参数测量激光与光电子学进展, 2022, 59 (19): 1929001
3、 极紫外同步辐射光表征离子束诱导的纳米波纹光学学报, 2022, 42 (19): 1936001
4、 光阑法变口径离子束修形仿真研究激光与光电子学进展, 2021, 58 (8): 0810016

杨高元, 蔡茂琦, 李金昱, 陈火耀, 刘颖, 洪义麟. 基于低能离子轰击的亚波长纳米结构制备[J]. 光学学报, 2020, 40(17): 1736001. Gaoyuan Yang, Maoqi Cai, Jinyu Li, Huoyao Chen, Ying Liu, Yilin Hong. Preparation of Subwavelength Nanostructures Based on Low-Energy Ion Bombardment[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(17): 1736001.

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