光学学报, 2020, 40 (17): 1736001, 网络出版: 2020-08-28
基于低能离子轰击的亚波长纳米结构制备 
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Preparation of Subwavelength Nanostructures Based on Low-Energy Ion Bombardment
激光加工 低能离子轰击 光刻胶 自组织纳米结构 熔石英 亚波长结构 laser processing low-energy ion bombardment photoresist self-organized nanostructure fused silica subwavelength structure
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