中国激光, 2013, 40 (6): 0616001, 网络出版: 2013-05-15
用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计
Design of Diffractive Optical Element for Pupil Shaping Optics in Projection Lithography System
基本信息
| DOI: | 10.3788/cjl201340.0616001 |
| 中图分类号: | O438 |
| 栏目: | 光学设计与制造 |
| 项目基金: | 国家科技重大专项(2011ZX02402)和国家国际科技合作项目(2011DFR10010)资助课题。 |
| 收稿日期: | 2013-01-07 |
| 修改稿日期: | 2013-03-08 |
| 网络出版日期: | 2013-05-15 |
| 通讯作者: | 胡中华 (huzhonghua@siom.ac.cn) |
| 备注: | -- |
胡中华, 宝喜, 朱菁, 肖艳芬, 曾爱军, 黄惠杰. 用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计[J]. 中国激光, 2013, 40(6): 0616001. Hu Zhonghua, Yang Baoxi, Zhu Jing, Xiao Yanfen, Zeng Aijun, Huang Huijie. Design of Diffractive Optical Element for Pupil Shaping Optics in Projection Lithography System[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(6): 0616001.
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