中国激光, 2013, 40 (6): 0616001, 网络出版: 2013-05-15
用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计
Design of Diffractive Optical Element for Pupil Shaping Optics in Projection Lithography System
光学设计 衍射光学元件 混合分区设计 迭代傅里叶变换 光瞳整形 投影光刻 optical design diffractive optical element mixed multi-region design iterative Fourier transform pupil shaping projection lithography
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