高斯光束对标准硅球直径测量的影响分析

康岩辉; 邾继贵; 罗志勇; 叶声华

光学学报, 2008, 28 (11): 2148, 网络出版: 2008-11-17

高斯光束对标准硅球直径测量的影响分析

Impact Analysis of Gaussian Beam on Measurement of Single Crystal Silicon Sphere Diameter

康岩辉 ^1,*邾继贵 ¹罗志勇 ²叶声华 ¹

作者单位

¹ 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072

² 中国计量科学研究院, 北京 100013

图 & 表

康岩辉, 邾继贵, 罗志勇, 叶声华. 高斯光束对标准硅球直径测量的影响分析[J]. 光学学报, 2008, 28(11): 2148. Kang Yanhui, Zhu Jigui, Luo Zhiyong, Ye Shenghua. Impact Analysis of Gaussian Beam on Measurement of Single Crystal Silicon Sphere Diameter[J]. Acta Optica Sinica, 2008, 28(11): 2148.