扫描电子显微镜图像漂移的实时矫正方法

徐伟; 谷森; 储成智; 靳振伟; 汝长海

doi:doi:10.12086/oee.2018.180198

光电工程, 2018, 45 (12): 180198, 网络出版: 2018-12-18

扫描电子显微镜图像漂移的实时矫正方法

Real-time correction of image drift in scanning electron microscope

徐伟 ¹谷森 ¹储成智 ¹靳振伟 ¹汝长海 ^1,2

作者单位

¹ 苏州大学机器人与微系统研究中心，江苏苏州 215021

² 苏州纳米科技协同创新中心，江苏苏州 215021

图 & 表

徐伟, 谷森, 储成智, 靳振伟, 汝长海. 扫描电子显微镜图像漂移的实时矫正方法[J]. 光电工程, 2018, 45(12): 180198. Xu Wei, Gu Sen, Chu Chengzhi, Jin Zhenwei, Ru Changhai. Real-time correction of image drift in scanning electron microscope[J]. Opto-Electronic Engineering, 2018, 45(12): 180198.