中国激光, 2006, 33 (1): 49, 网络出版: 2006-04-20
激光化学液相次序选择腐蚀新方法
A New Order-Selective Etching Method in Laser Induced Wet-Chemical Etching
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | O 644.18 |
| 栏目: | 激光物理 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(60277008)、教育部重点项目(03147)、电科院及四川省科技厅(04GG021-020-01)、国防科技重点实验室基金(514910501005DZ0201)资助课题 |
| 收稿日期: | 2005-03-11 |
| 修改稿日期: | 2005-09-06 |
| 网络出版日期: | 2006-04-20 |
| 通讯作者: | 刘霖 (juanxiul@uestc.edu.cn) |
| 备注: | -- |
刘霖, 叶玉堂, 刘娟秀, 赵素英, 范超, 吴云峰, 王昱琳. 激光化学液相次序选择腐蚀新方法[J]. 中国激光, 2006, 33(1): 49. 刘霖, 叶玉堂, 刘娟秀, 赵素英, 范超, 吴云峰, 王昱琳. A New Order-Selective Etching Method in Laser Induced Wet-Chemical Etching[J]. Chinese Journal of Lasers, 2006, 33(1): 49.
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