中国激光, 2006, 33 (1): 49, 网络出版: 2006-04-20   

激光化学液相次序选择腐蚀新方法

A New Order-Selective Etching Method in Laser Induced Wet-Chemical Etching
作者单位
1 电子科技大学光电信息学院, 四川 成都 610054
2 电子科技大学电子工程学院, 四川 成都 610054
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刘霖, 叶玉堂, 刘娟秀, 赵素英, 范超, 吴云峰, 王昱琳. 激光化学液相次序选择腐蚀新方法[J]. 中国激光, 2006, 33(1): 49. 刘霖, 叶玉堂, 刘娟秀, 赵素英, 范超, 吴云峰, 王昱琳. A New Order-Selective Etching Method in Laser Induced Wet-Chemical Etching[J]. Chinese Journal of Lasers, 2006, 33(1): 49.

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