Chinese Optics Letters, 2018, 16 (9): 091402, Published Online: Sep. 6, 2018  

Ablation effects and mechanism of sintered silicon carbide ceramics by an ArF excimer laser Download: 643次

Author Affiliations
Academy of Opto-Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China
Suppl. Mat.

Xin Guo, Jinbin Ding, Yi Zhou, Yu Wang. Ablation effects and mechanism of sintered silicon carbide ceramics by an ArF excimer laser[J]. Chinese Optics Letters, 2018, 16(9): 091402.

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