Ablation effects and mechanism of sintered silicon carbide ceramics by an ArF excimer laser Download： 644次 | Chinese Optics Letters -- 中国光学期刊网

Chinese Optics Letters, 2018, 16 (9): 091402, Published Online: Sep. 6, 2018

Ablation effects and mechanism of sintered silicon carbide ceramics by an ArF excimer laser Download： 644次

Xin Guo ^*Jinbin Ding Yi Zhou Yu Wang

Author Affiliations

Academy of Opto-Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China

140.3390 Laser materials processing 140.2180 Excimer lasers

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