基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法

曾宗顺; 张方; 牛志元; 马晓喆; 朱思羽; 黄惠杰

doi:doi:10.3788/CJL202047.0805003

中国激光, 2020, 47 (8): 0805003, 网络出版: 2020-08-17

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Angular Position Distribution Algorithm of Micro Mirror Array Based on Genetic Algorithm

曾宗顺 ^1,2张方 ¹牛志元 ¹马晓喆 ^1,2朱思羽 ^1,2黄惠杰 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800

² 中国科学院大学, 北京 100049

引用该论文

曾宗顺, 张方, 牛志元, 马晓喆, 朱思羽, 黄惠杰. 基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法[J]. 中国激光, 2020, 47(8): 0805003.

Zeng Zongshun, Zhang Fang, Niu Zhiyuan, Ma Xiaozhe, Zhu Siyu, Huang Huijie. Angular Position Distribution Algorithm of Micro Mirror Array Based on Genetic Algorithm[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(8): 0805003.

引用列表

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2、基于傅里叶合成技术的光刻照明系统研究中国激光, 2023, 50 (6): 0605003

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曾宗顺, 张方, 牛志元, 马晓喆, 朱思羽, 黄惠杰. 基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法[J]. 中国激光, 2020, 47(8): 0805003. Zeng Zongshun, Zhang Fang, Niu Zhiyuan, Ma Xiaozhe, Zhu Siyu, Huang Huijie. Angular Position Distribution Algorithm of Micro Mirror Array Based on Genetic Algorithm[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(8): 0805003.

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