中国激光, 2020, 47 (8): 0805003, 网络出版: 2020-08-17
基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法 
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Angular Position Distribution Algorithm of Micro Mirror Array Based on Genetic Algorithm
测量 浸没光刻机 自由光瞳照明 微反射镜阵列 角位置分布算法 measurement immersion photolithography machine freeform pupil illumination micro mirror array angular position distribution algorithm
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