红外与毫米波学报, 2004, 23 (4): 313, 网络出版: 2006-05-10
溅射沉积功率对PZT薄膜的组分、结构和性能的影响
INFLUENCE OF DEPOSITION POWER ON THE COMPOSITION,STRUCTURE AND PROPERTIES OF PZT THIN FILMS PREPARED BY RF SPUTTERING
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TB39;O484 |
| 栏目: | 研究简报 |
| 项目基金: | 上海市自然科学基金(00ZE14071)、江西省自然科学基金资助项目(0150016) |
| 收稿日期: | 2003-04-28 |
| 修改稿日期: | 2004-02-27 |
| 网络出版日期: | 2006-05-10 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
李新曦, 赖珍荃, 王根水, 孙璟兰, 赵强, 褚君浩. 溅射沉积功率对PZT薄膜的组分、结构和性能的影响[J]. 红外与毫米波学报, 2004, 23(4): 313. 李新曦, 赖珍荃, 王根水, 孙璟兰, 赵强, 褚君浩. INFLUENCE OF DEPOSITION POWER ON THE COMPOSITION,STRUCTURE AND PROPERTIES OF PZT THIN FILMS PREPARED BY RF SPUTTERING[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2004, 23(4): 313.
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