1 School of Material Sciences and Engineering, Seoul National University, Korea
2 浙江省嘉兴学院,浙江 嘉兴 314000
3 云南昆明物理研究,云南,昆明,650223
4 云南昆明物理研究所,云南 昆明 650223
5 中国科学院上海技术物理研究所,上海 200083
6 KangSchool of Material Sciences and Engineering, Seoul National University, Korea
测量了一批不同组分的铌酸钾锂晶体Raman光谱,发现晶体中位于C格位的Li离子浓度对晶体Raman光谱产生了强烈的影响:低Li含量晶体中[NbO6]7-八面体所对应的3个Raman特征光谱线没有发生峰分裂,在100～400cm-1范围出现的小峰与C格位Li离子浓度相关;当晶体中Li离子浓度增加时,与v5所对应的Raman峰在散射几何为X(ZY)Z对应的光谱中加宽,v2振动模式在两种散射几何中均出现分裂峰,并在100～400cm-1范围出现小峰数量增多;当Li离子浓度接近晶体化学组分时,微扰进一步加强,v5所对应峰分裂成3个峰,v1和v2振动模式发生部分分裂,在100～400cm-1范围小峰更为突出.
铁电晶体 铌酸钾锂 振动模式 红外Raman振动光谱 ferroelectric crystal potassium lithium niobate vibration mode infrared Raman vibration spectra
1 南昌大学,物理系,江西,南昌,330047
2 中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083
用射频(RF)溅射法在镀LaNiO3(LNO)底电极的Si片上沉积PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)铁电薄膜,沉积过程中基底温度为370℃,然后在大气环境中对沉积的PZT薄膜样品进行快速热退火处理(650℃,5min).用电感耦合等离子体发射光谱(ICP-AES)测量其组分,X射线衍射(XRD)分析PZT薄膜的结晶结构和取向,扫描电子显微镜(SEM)分析薄膜的表面形貌和微结果,RT66A标准铁电综合测试系统分析Pt/PZT/LNO电容器的铁电与介质特性，结果表明,PZT薄膜的组分、结构和性能都与溅射沉积功率有关.
射频溅射 沉积功率 钙钛矿结构 铁电薄膜 RF sputtering deposition power perovskite phase PZT PZT ferroelectric thin films
