光学 精密工程, 2013, 21 (6): 1425, 网络出版: 2013-07-01
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构
Flexure-based X-Y micro-motion mechanism used in lithographic lens
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20132106.1425 |
| 中图分类号: | TN305.7;TH74 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家重大科技专项基金资助项目(No.2009ZX02205) |
| 收稿日期: | 2012-10-12 |
| 修改稿日期: | 2012-12-05 |
| 网络出版日期: | 2013-07-01 |
| 通讯作者: | 赵磊 (zhaol@sklao.ac.cn) |
| 备注: | -- |
赵磊, 巩岩, 赵阳. 光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构[J]. 光学 精密工程, 2013, 21(6): 1425. ZHAO Lei, GONG Yan, ZHAO Yang. Flexure-based X-Y micro-motion mechanism used in lithographic lens[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(6): 1425.
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