光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构

赵磊; 巩岩; 赵阳

doi:doi:10.3788/ope.20132106.1425

光学精密工程, 2013, 21 (6): 1425, 网络出版: 2013-07-01

光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构

Flexure-based X-Y micro-motion mechanism used in lithographic lens

赵磊 ^*巩岩赵阳

作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033

图 & 表

赵磊, 巩岩, 赵阳. 光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构[J]. 光学精密工程, 2013, 21(6): 1425. ZHAO Lei, GONG Yan, ZHAO Yang. Flexure-based X-Y micro-motion mechanism used in lithographic lens[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(6): 1425.