光学 精密工程, 2013, 21 (6): 1425, 网络出版: 2013-07-01
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构
Flexure-based X-Y micro-motion mechanism used in lithographic lens
光刻物镜 柔性铰链 微动调整机构 系统波像差 lithographic lens flexure hinge micro adjusting mechanism system wavefront aberration
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