激光与光电子学进展, 2017, 54 (11): 113104, 网络出版: 2017-11-17
以不同前驱体制备的TiAlC薄膜的性能对比 
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Performance Comparison of TiAlC Films Prepared with Different Precursors
基本信息
| DOI: | 10.3788/lop54.113104 |
| 中图分类号: | O484 |
| 栏目: | 薄膜 |
| 项目基金: | 贵州省“125计划”重大科技专项(黔教合重大专项字［2014］037号)、贵州省科学技术基金(黔科合J字［2014］2148号)、贵州省科技合作计划(黔科合LH字［2015］7743号)、贵州省2016年省级本科教学工程项目(20161114020) |
| 收稿日期: | 2017-05-05 |
| 修改稿日期: | 2017-06-04 |
| 网络出版日期: | 2017-11-17 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
杨永亮, 李娜, 张泓筠. 以不同前驱体制备的TiAlC薄膜的性能对比[J]. 激光与光电子学进展, 2017, 54(11): 113104. Yang Yongliang, Li Na, Zhang Hongyun. Performance Comparison of TiAlC Films Prepared with Different Precursors[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2017, 54(11): 113104.
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