激光与光电子学进展, 2017, 54 (11): 113104, 网络出版: 2017-11-17
以不同前驱体制备的TiAlC薄膜的性能对比 下载: 592次
Performance Comparison of TiAlC Films Prepared with Different Precursors
补充材料
杨永亮, 李娜, 张泓筠. 以不同前驱体制备的TiAlC薄膜的性能对比[J]. 激光与光电子学进展, 2017, 54(11): 113104. Yang Yongliang, Li Na, Zhang Hongyun. Performance Comparison of TiAlC Films Prepared with Different Precursors[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2017, 54(11): 113104.