点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析

马强; 刘伟奇; 李香波; 康玉思; 魏忠伦; 冯睿; 柳华

光学学报, 2008, 28 (12): 2321, 网络出版: 2008-12-17

点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析

Analysis of Diffraction Wavefront Error in Point Diffraction Interferometer

马强 ^1,2,*刘伟奇 ¹李香波 ^1,2康玉思 ^1,2魏忠伦 ¹冯睿 ¹柳华 ¹

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林长春 130033

² 中国科学院研究生院, 北京 100039

图 & 表

马强, 刘伟奇, 李香波, 康玉思, 魏忠伦, 冯睿, 柳华. 点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析[J]. 光学学报, 2008, 28(12): 2321. Ma Qiang, Liu Weiqi, Li Xiangbo, Kang Yusi, Wei Zhonglun, Feng Rui, Liu Hua. Analysis of Diffraction Wavefront Error in Point Diffraction Interferometer[J]. Acta Optica Sinica, 2008, 28(12): 2321.