原子层沉积法制备高反射率的分布式布拉格反射镜 | 半导体光电 -- 中国光学期刊网

半导体光电, 2019, 40 (4): 528, 网络出版: 2019-09-20

原子层沉积法制备高反射率的分布式布拉格反射镜

Preparation of High Reflectivity Distributed Bragg Mirrors Based on Atomic Layer Deposition

万颖 ¹吴昊 ²刘昌 ¹

作者单位

¹ 武汉大学物理科学与技术学院 1. 人工微纳结构教育部重点实验室

² 武汉大学物理科学与技术学院 2. 核固体物理湖北省重点实验室, 武汉 430072

发光二极管原子层沉积分布式布拉格反射器 light-emitting diodes atomic layer deposition distributed Bragg reflector

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万颖, 吴昊, 刘昌. 原子层沉积法制备高反射率的分布式布拉格反射镜[J]. 半导体光电, 2019, 40(4): 528. WAN Ying, WU Hao, LIU Chang. Preparation of High Reflectivity Distributed Bragg Mirrors Based on Atomic Layer Deposition[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2019, 40(4): 528.

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