光电工程, 2006, 33 (8): 117, 网络出版: 2007-11-14
子孔径拼接检验法中倾斜的影响及消除方法
Influence of tilt in stitching interferometry and how to eliminate it
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN247 |
栏目: | 先进光学制造技术 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2005-08-17 |
修改稿日期: | 2005-10-30 |
网络出版日期: | 2007-11-14 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
张明意, 李新南. 子孔径拼接检验法中倾斜的影响及消除方法[J]. 光电工程, 2006, 33(8): 117. 张明意, 李新南. Influence of tilt in stitching interferometry and how to eliminate it[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(8): 117.