光电工程, 2006, 33 (8): 117, 网络出版: 2007-11-14   

子孔径拼接检验法中倾斜的影响及消除方法

Influence of tilt in stitching interferometry and how to eliminate it
作者单位
1 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,江苏,南京,210042
2 中国科学院研究生院,北京,100039
摘要
在子孔径拼接检测大口径光学平面时,子孔径检测的数据往往存在倾斜,它将会导致拼接的数据沿着一个方向的倾斜累加,最后引入很大的倾斜误差.由于这种倾斜误差难以手动修正,通过实验,先用最小二乘法编制软件对所测子孔径数据进行消除倾斜处理,然后把去倾斜的子孔径数据进行拼接处理,对比消除倾斜的子孔径拼接结果与全口径直接检测结果,证明了去倾斜处理在子孔径拼接检测处理中的有效性.
Abstract
参考文献

[1] 白剑,程上彝,杨国光.大口径镜面的多孔径拼接技术[J].光学学报,1997,17(7):951-956.BAI Jian,CHENG Shang-yi,YANG Guo-guang.Subaperture Alignment Technique for Large Aperture Mirrors[J].ACTA OPTICA SINICA,1997,17(7):951-956.

[2] Michael Bray.Stitching Interferometer for large plano optics using a standard interferometer[J].SPIE,1997,3134:39-50.

[3] 程维明,陈明仪.子孔径变换与多孔径扫描拼接技术[J].光学精密工程,1993,1(1):54-58.CHENG Wei-ming,CHEN Ming-yi.Transformation of Sub-apertures in Multi-aperture Overlap-Scanning Technique[J].Optic and Precision Engineering,1993,1(1):54-58.

[4] 杨力.先进光学制造技术[M].北京:科学出版社,2001.318-325.YANG Li.Advanced technique of optics fabrication[M].Beijing:Science Press,2001.318-325.

[5] Stephen C.JENSEN,Weng W.CHOW,George N.Lawrence.Subaperture testing approaches:a comparison[J].Applied Optics,1984,23:740-745.

[6] Michael BRAY.Stitching interferometer for large optics:Recent developments of a system[J].SPIE,1998,3492:946-956.

[7] 张蓉竹,许乔,顾元元,等.大口径光学元件检测中的主要误差及其影响[J].强激光与粒子束,2001,13(2):133-l36.ZHANG Rong-zhu,XU Qiao,GU Yuan-yuan,et al.Testing Errors and Its Influence of The Large Aperture Optical Elements[J].High Power Laser and Particie Beams,2001,13(2):133-l36.

张明意, 李新南. 子孔径拼接检验法中倾斜的影响及消除方法[J]. 光电工程, 2006, 33(8): 117. 张明意, 李新南. Influence of tilt in stitching interferometry and how to eliminate it[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(8): 117.

本文已被 6 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!