1 中国科学院国家天文台 南京天文光学技术研究所，江苏 南京 210042
2 中国科学院研究生院，北京 100049
介绍子孔径拼接检测大口径光学镜面的原理，即用小口径的平面干涉仪检验大口径平面的一部分，通过改变2者相对位置获得覆盖到整个被检验镜面的子孔径检测数据。提出利用最小二乘法对相邻2个子孔径重叠部分的检测数据进行计算来确定实际所有子孔径之间的位置关系，进而得到拼接而成的整体面形信息。并对子孔径拼接成的面型与实际面型的误差进行分析，建立了对子孔径拼接全口径波面恢复精度的评价指标。根据子孔径拼接原理完成了实验，并对多组子孔径数据拼接后的波面恢复精度进行了分析。实验证明，子孔径拼接检测大口径光学元件综合误差小，重复精度高。
大口径光学平面 子孔径拼接 波面恢复 面形误差 精度分析 large-diameter optical plane subaperture synthesis wavefront reconstruction surface error accuracy analysis
1 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所，南京 210042
2 中国科学院研究生院，北京 100039
研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进行分析，获得了子孔径之间的拼接参量，得到了被检验镜面的整体面形信息。编制了拼接检验的计算程序，并完成了原理性实验。采用一台口径为100mm的移相干涉仪检测了两个样品，给出了拼接检测与全口径检测的对比结果。样品的口径分别为100mm和91mm。对比检测结果表明，拼接检测与直接检测两种方法的RMS之差小于5nm。
大口径光学平面 子孔径拼接 光学检测 large plano-optics stitching interferometry optical test
1 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,江苏,南京,210042
2 中国科学院研究生院,北京,100039
在子孔径拼接检测大口径光学平面时,子孔径检测的数据往往存在倾斜,它将会导致拼接的数据沿着一个方向的倾斜累加,最后引入很大的倾斜误差.由于这种倾斜误差难以手动修正,通过实验,先用最小二乘法编制软件对所测子孔径数据进行消除倾斜处理,然后把去倾斜的子孔径数据进行拼接处理,对比消除倾斜的子孔径拼接结果与全口径直接检测结果,证明了去倾斜处理在子孔径拼接检测处理中的有效性.
光学检测 光学元件 子孔径拼接 倾斜
