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在较大孔径放大系数(＞4)的情况下, 结合实验结果, 从拼接模式、被测面形、测量误差和不同孔径放大系数的角度出发, 分析了各种因素对目标函数拼接技术精度的影响, 为高精度检测和控制大口径光学元件表面面形(波前)提供了依据。
波面恢复 子孔径 多孔径扫描技术 目标函数 wavefront restoration subaperture multi-aperture overlap-scanning technique target function
1 中国科学院国家天文台 南京天文光学技术研究所，江苏 南京 210042
2 中国科学院研究生院，北京 100049
介绍子孔径拼接检测大口径光学镜面的原理，即用小口径的平面干涉仪检验大口径平面的一部分，通过改变2者相对位置获得覆盖到整个被检验镜面的子孔径检测数据。提出利用最小二乘法对相邻2个子孔径重叠部分的检测数据进行计算来确定实际所有子孔径之间的位置关系，进而得到拼接而成的整体面形信息。并对子孔径拼接成的面型与实际面型的误差进行分析，建立了对子孔径拼接全口径波面恢复精度的评价指标。根据子孔径拼接原理完成了实验，并对多组子孔径数据拼接后的波面恢复精度进行了分析。实验证明，子孔径拼接检测大口径光学元件综合误差小，重复精度高。
大口径光学平面 子孔径拼接 波面恢复 面形误差 精度分析 large-diameter optical plane subaperture synthesis wavefront reconstruction surface error accuracy analysis
上海科技大学应用光学与检测实验室, 上海 201800
多孔径扫描波面恢复技术是一项新的高精度大孔径面形检测手段.本文从建立波面恢复精度的评价标准出发,结合实测结果进行讨论,并对影响精度的两个重要因素即拼接模式及拼接区大小进行分析.
多孔径扫描 波面恢复 大孔径面形检测
上海科学技术大学应用光学与检测实验室, 上海 201800
在工程干涉度量中获得的干涉图往往信噪比低且不为常值,这给采用条纹细化和拟合方法恢复波面带来困难,并导致较大的测量误差.本文提出的高斯门限法不仅克服了常用技术的不足,简便易行,而且经计算机模拟分析和测试实例分析表明,本法具有很高的精度和可靠性.文中详述了高斯门限的原理、算法,提供了实例分析结果.
波面恢复 高斯门限法
